半导体量测设备
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2023年中国半导体量测设备行业发展现状及趋势分析，国产量测设备将迎来弯道超车的机会「图」
半导体过程控制设备包括检测设备、量测设备和过程控制设备，广义的半导体量测设备包括了Inspection和Metrology两大环节。半导体检测设备包括了异物缺陷、气泡缺陷和颗粒缺陷，而半导体量测设备主要包括光刻套刻偏移量、薄膜膜厚和三维形貌。检测指在晶圆表面上或电路结构中。量测指对被观测的晶圆电路上的结构尺寸和材料特性
华经观点
2023-05-26
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